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產(chǎn)品資料
非接觸光學表面曲翹度測量儀
簡介:

CT 300是一臺非接觸式的光學表面測量儀,具備高達315毫米的X/Y運動行程。它可以處理*大12英寸的晶圓或其他大型樣品。使用白光傳感器和高達20 kHz的數(shù)據(jù)收集率,檢測效率大大提高。共焦顯微鏡和三維白光干涉儀傳感器在z方向上提供****的分辨率,低至0.1納米。

產(chǎn)品詳情

設備特點:

CHR白光共聚焦傳感器,采樣頻率4kHz – 20kHz

可實現(xiàn)組合式測量

*大315mm x 315mm掃描范圍

分辨率低至3nm,測量范圍*高可達25mm

適用領域:厚膜印刷電路,混合電路(Hybrid Circuit)、BGA、TAB 及 FLIP/CHIP厚度測量,PCB基板形變量,半導體元件及晶圓平整度、曲翹度,銅箔厚度及粗糙度,封裝凸塊檢測。

 


應用案例:

1、LED器件的幾何形狀測量

 


2、晶圓的平整度測量

 


3、光學器件的表面粗糙度測量

 


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