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Temescal的FC-2000和BJD-2000系統(tǒng)式通用型電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，通過選用不同的附件配置，適合絕大多數(shù)沉積應(yīng)用要求，除了高效運行和兼容潔凈室的特點，該系統(tǒng)還具有極強的靈活性，以方便使用。其中FC-2000是一款具有快速工藝周期能力以及真空鎖結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)，可以在裝卸基片時讓電子束蒸發(fā)源保持在高真空狀態(tài)。而BJD-2000系統(tǒng)則沒有真空鎖結(jié)構(gòu)。

產(chǎn)品性能：

• 腔室類型：Bell jar
• 低溫泵型號及抽速：CT-8，4000L/s
• 典型抽真空時間：到達1E-6Torr抽氣時長小于15min
• 電子束蒸發(fā)源可安裝數(shù)量：4X25cc Poptop +1 fixed pocket
• 電子槍電源：6kw 或 12kw
• 離子源（選配）：MKI filament
• 晶圓裝載量（lift-off)：42X2“，13X100mm
• 源基間距：19.5”（標準），27.5”（加長）
  
• 腔室觀察窗：4"廣角
• 均勻性修正板：1個固定式
• 可拆卸的不銹鋼護甲：是
• 可升降的雙向旋轉(zhuǎn)的源托架：是
• 所有接觸真空環(huán)境的設(shè)備表面：304不銹鋼

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