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產品資料
T-3000-PRO&T-3002PRO
簡介:

40多年來,Tresky一直致力于高精度、多功能微組裝系統的研發和生產。通過配置不同的功能模塊,可廣泛應用于高精度共晶粘片,倒裝粘片等多種芯片貼裝工藝和領域。該產品基于 True Vertical Technology 垂直貼裝設計理念,保證了設備在不同貼裝高度上芯片與基板始終平行。客戶知道并喜歡Tresky,因為該設備很容易學習和使用,你可以從一開始就進行高效生產。它可以適應各種新的和不斷發展的應用,保持研發方向始終在高精度微組裝技術前沿。

產品詳情

T-3000-PRO


T-3000系列是Tresky公司應用較為靈活的芯片微組裝平臺,它采用Windows PC 軟件操作系統、使得設備的操作更加簡單、明朗。z軸行程120mm采用可編程馬達驅動,使其在小規模生產和工藝重復一致性中特別有用,大幅降低了操作人員對產品工藝的影響。220mm x 220mm工作臺可搭載不同的功能模塊用以滿足廣泛的工藝及應用需求。可360°自由旋轉的貼片頭擁有20g-400g壓力調節范圍,并可選配低至5g的微壓力模塊或高達50Kg的大壓力模塊。可選的高分辨率分光棱鏡系統允許將放置精度提高到±1微米級別,T-3000系列在如倒裝芯片、光通信芯片或激光芯片放置等微米級精度要求的應用中真正閃耀。


T-3002-PRO


T-3002-PRO具有高達200毫米直徑的晶圓臺,位于工作臺下方,擁有Tresky獨特的頂針臺系統設計,適用于8寸及以下晶元取片。


該系列主要功能有


- 芯片分選到華夫盒或者gel packs

- 點膠或者蘸膠貼片

- 膠厚控制

- 50Kg大壓力模塊

- 3D封裝,如MEMS,MDEMS,Photoics。

- 微米級精度放置,通過分光棱鏡系統對基板焊盤和芯片底部的圖形,輪廓,邊角等進行精細對位。

- Flip-Chip 超聲鍵合

- Flip-Chip 點膠粘片或者異性薄膜

- 傳感器微組裝

- UV固化粘片

- 焊料共晶粘片,如Ausi,Copper Pillar或其他

- 在曲面上做超聲鍵合


技術參數:


XY 工作臺移動距離:                                        220mm x 220mm (手動)

XY 晶元臺移動距離:                                        220mm x 220mm (手動)

Z 軸移動距離:                                                95mm (自動,精度 ±0.001mm)

吸頭旋轉:                                                      360°

貼片壓力:                                                      20g-400g

貼片精度:                                                      ±10μm; ±1μm (配置分光棱鏡系統)                                  

設備尺寸:                                                      900mm x 800mm x 700mm

重量:                                                             90kg

電壓:                                                            110V / 220V

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