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產品資料
超聲波掃描顯微鏡AW300
簡介：

SONOSCAN超聲波掃描顯微鏡是利用高頻超聲波對樣品外表和內部進行高清成像的非破壞性測試。不同于X射線和紅外成像等其他無損檢測技術，該技術則是利用超聲波對材料彈性特性極其敏感的特性，通過捕獲穿透樣品或者從樣品反射回來的聲波信號，并數字化處理這些信號進而生成視覺圖像。此起其他檢測方法，使用超聲顯微成像技術更能有效地識別并分析脫層、空洞及裂縫等缺陷。廣泛應用于包含陶瓷、金屬、高分子材料、塑封料、電容、塑料、陶瓷體電
產品詳情


AW300


設備分類：生產型

該系列設備是為粘合晶圓及硅片設計的全自動C-SAM系統。
它容量大，產能高，靈敏度高，通常用來檢測SOI．MEMS等晶圓。由于這些材料對超聲波幾乎是透明的，SONOSCAN利用自己研制的高頻探頭進行分析，以獲取更精細的圖像。AW系列能夠探測直徑小于5微米的空洞和薄如200埃的分層。
 
 主要功能：

  • 全自動檢測200/300mm的晶圓
  • SONOSCAN瀑布式探頭
  • 三個25片的晶圓匣盒
  • 可選水循環和給排水模塊
  • 精準定位的機械臂實現wafer自動上下料，將產能擴大化



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