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MPCVD微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
MPCVD微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
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Auto500GB
Auto500
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LPCVD化學(xué)氣相沉積工藝爐
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4900/5700型電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)
方腔式電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備
方腔式電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備
電子束蒸發(fā)設(shè)備BJD/FC-2000
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產(chǎn)品資料
Auto500GB
簡(jiǎn)介:
Auto500GB是專門設(shè)計(jì)用于手套箱集成使用的鍍膜設(shè)備,滿足氧氣或水汽敏感的材料鍍膜的應(yīng)用要求。該系統(tǒng)配了一個(gè)特殊結(jié)構(gòu)的真空腔室,可直接與市場(chǎng)上大多數(shù)手套箱集成到一起。可以進(jìn)行
電子束蒸發(fā)
,熱阻蒸發(fā)等物**相沉積鍍膜。系統(tǒng)配置可選擇多種腔室尺寸和工藝附件,以符合用戶需求。
產(chǎn)品詳情
真空腔室的前門可豎直滑動(dòng)開(kāi)關(guān),嵌入手套箱內(nèi),并占用很少的手套箱空間;其后門是鉸鏈扇式開(kāi)關(guān),能在不影響手套箱內(nèi)氣氛的情況下輕松維護(hù)腔室內(nèi)工藝組件。
鍍膜源選項(xiàng)包括熱阻蒸發(fā)源、精密控溫的有機(jī)蒸發(fā)源、磁控濺射源以及
電子束蒸發(fā)
源。
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